潔凈室氮?dú)夤袷且环N用于保護(hù)光敏材料等對(duì)空氣中微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備。主要通過(guò)向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮?dú)猓瑥亩鴮⒖諝庵械挠泻ξ⒘：蜐駳馀懦＝Y(jié)構(gòu)由上、下兩部分組成，上部為氮?dú)獍l(fā)生器，下部為儲(chǔ)存?zhèn)}和過(guò)濾系統(tǒng)。氮?dú)獍l(fā)生器采用電解技術(shù)，將普通空氣中的氧氣和氮?dú)夥蛛x，得到高純度的氮?dú)猓浼兌瓤蛇_(dá)99.99%以上。儲(chǔ)存?zhèn)}內(nèi)裝有氮?dú)鈨?chǔ)罐，過(guò)濾系統(tǒng)則包括粗濾、精濾和活性炭吸附三個(gè)部分，以去除殘留的雜質(zhì)和異味。
潔凈室氮?dú)夤裢ㄟ^(guò)氮?dú)獍l(fā)生器產(chǎn)生高純度氮?dú)猓⒌獨(dú)馔ㄟ^(guò)管道輸送到工作區(qū)。工作區(qū)內(nèi)的空氣被排出，使得微粒和濕氣不會(huì)進(jìn)入工作區(qū)域，從而保證工作區(qū)的環(huán)境干凈、無(wú)塵、無(wú)水汽等。同時(shí)，氮?dú)夤駜?nèi)儲(chǔ)存?zhèn)}和過(guò)濾系統(tǒng)可以去除殘留的雜質(zhì)和異味，確保供氣的氮?dú)饧兌炔皇苡绊憽Ｖ饕獞?yīng)用于光學(xué)、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中對(duì)精密加工和材料制備要求高的工作環(huán)境。例如，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，可以用于保護(hù)光刻膠在接觸式光刻機(jī)上的穩(wěn)定性，防止有害微粒和濕氣對(duì)光刻膠的污染。
優(yōu)點(diǎn)：
1.高純度氮?dú)猓嚎梢蕴峁└呒兌鹊獨(dú)猓_保工作區(qū)的環(huán)境干凈、無(wú)塵、無(wú)水汽等。
2.安全可靠：氮?dú)夤駜?nèi)部設(shè)有安全閥和泄壓裝置，確保氮?dú)夤竦陌踩\(yùn)行。
3.節(jié)能環(huán)保：氮?dú)獍l(fā)生器采用電解技術(shù)，無(wú)需化學(xué)反應(yīng)，避免了有害物質(zhì)的排放，并且具有節(jié)能的優(yōu)點(diǎn)。
4.易于操作：氮?dú)夤竦牟僮骱?jiǎn)單方便，僅需按下開(kāi)關(guān)即可啟動(dòng)。
潔凈室氮?dú)夤袷且环N用于保護(hù)對(duì)微小粒子非常敏感的物質(zhì)的設(shè)備，其主要原理是通過(guò)向工作區(qū)供應(yīng)高純度氮?dú)猓瑥亩鴮⒖諝庵械挠泻ξ⒘：蜐駳馀懦Ｋm用于光學(xué)、電子、半導(dǎo)體等行業(yè)中對(duì)精密加工和材料制備要求高的工作環(huán)境，并具有高純度氮?dú)狻踩煽俊⒐?jié)能環(huán)保、易于操作等優(yōu)點(diǎn)。
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