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氮氣柜
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無塵室氮氣柜適合半導體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現象； 由于普通的干燥存儲柜或者氮氣柜設計都為全封閉環(huán)境，且無自凈功能，故內部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。
潔凈室氮氣柜適合半導體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現象； 由于普通的干燥存儲柜或者氮氣柜設計都為全封閉環(huán)境，且無自凈功能，故內部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。
TEL：400-068-2568
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